本装置は、4inch基板を、カメラを搭載した移載ロボットで基板とトレイのオリフラの位置を合わせてからトレイに移載し、トレイ搬送ロボットを用いてトレイをプロセス装置へ供給?排出する装置です。

基本仕様

(1)装置サイズ

外形寸法 W2650mm×D1825mm×H2162mm(HEPA含む)
装置重量 約800kg

(2)対象ワークサイズ

基板 4inch
トレイ 4inch
カセット 4inch用(型式不明)

(3)クリーン度

クリーン度 クラス1000

(4)処理能力

4inch 40トレイ×5基板 = 200(基板/時間) : 連続入替え動作の場合

(注)トレイ運用条件により待機時間が生じる場合には、処理能力は変動します

(5)一次側ユーティリティ

一次側エア 0.5MPa以上
排気 300L/min
一次側電源 3相、AC200V、40A

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