ディスク表面に金属膜を生成するスパッタリング装置へのローダー/アンローダー装置です。

 

アンロード中の冷却ステージでは任意の冷却設定を行うことが可能で、ディスクカセットの供給?排出は自動搬送車(AGV)やディスクカセットコンベヤ等で行います。

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MD事業部
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