基本仕様

特長

1.超微細孔加工

   • 15~50μm径の超微細穴を加工

2.多数穴超高速加工(高スループット)

   • 最大100mm□内最大約100万個を30~500secで加工(最速0.1ms以下/穴)

3.高精度加工

   • 穴位置精度<±0.5μm、穴径精度<±0.5μm

4.長期安定?調整容易(少ダウンタイム)

   • レーザプロファイルの変動による影響を受けない。

   • シンプルな光学系により、調整が容易。

技術説明

1.超微細加工

紫外線レーザにより、熱影響のない樹脂加工が可能。

レーザの波長と光子エネルギー
レーザの種類 波長
(nm)
光子エネルギー
(kcal/mol)
CO_{2} 10600 2.7
YAG 1064 27
SHG-YAG 532 54
THG-YAG 355 81
KrF エキシマレーザ 248 114
樹脂材料の結合解離エネルギー
結合の種類 解離エネルギー
(kcal/mol)
C-C 80
C-H 98
C=C 145
C≡C 198

CO_{2}レーザなどは、長波長のため限界の集光径が大きく、熱加工でコゲ?溶けが生じるため、加工径は50μm径が限界。

紫外線レーザは高光子エネルギーにより、直接C-C結合を切断する。

2.多数穴超高速加工(高スループット)

   • 大出力紫外線レーザのエキシマレーザとマイクロレンズの多数配列により、多数穴一括加工が可能。

   • マイクロレンズ上をビームスキャンすることにより、
     最大100mm□領域の最大約100万穴を、30~500secで加工。(最速0.1ms以下/穴)

3.高精度加工

   • 高精度マイクロレンズアレイにより、穴位置精度<±0.5μm。

   • ビーム揺動システムにより、高穴径精度<±0.5μm。

   • 光学系によらない、ビームプロファイル均一化。高精度加工が可能。

4.長期安定?調整容易(少ダウンタイム)

   • シンプルな光学系により、従来技術より光学調整が容易。

   • ビーム揺動システムにより、エキシマレーザのビーム品質変化の影響を受けず、長期間安定した加工が可能。

ガスライフによるビームプロファイルの違い

ガスライフ初期
拡大
ガスライフ初期
ガスライフ末期
拡大
ガスライフ末期

レーザ事業に関するお問い合わせ

 

第1技術部

お電話でのお問い合わせ 042-542-7100